真空镀膜系统用途及其制作方法



商悦传媒   2019-04-27 19:14

导读: 随着节能减排政策的倡导,人们对低辐射镀膜玻璃提出更高的要求。普通用于生产镀膜玻璃的镀膜段生产的产品已...

  随着节能减排政策的倡导,人们对低辐射镀膜玻璃提出更高的要求。普通用于生产镀膜玻璃的镀膜段生产的产品已经不能满足人们提出的更高要求。大面积磁控溅射镀膜生产线包含许多组成部分,其中核心区域是镀膜高真空区的工艺布置,即镀膜段。现有技术中存在真空环境差、冷却效果低会严重影响制备的膜层质量。

  提供一种真空镀膜系统,本系统由真空镀膜系统和真空手套箱系统集成而成,可在高真空蒸镀腔室中完成薄膜蒸镀,并在手套箱高纯惰性气体氛围下进行样品的存放、制备以及蒸镀后样品的检测。蒸发镀膜与真空手套箱组合,实现蒸镀、封装、测试等工艺全封闭制作,使整个薄膜生长和器件制备过程高度集成在一个完整的可控环境氛围的系统中,消除有机大面积电路制备过程中大气环境中不稳定因素影响,保障了高性能、大面积有机光电器件和电路的制备。